Преглед производа
7Н амонијак је специјални-гас електронског квалитета са нивоом чистоће од 99,99999%. Примарно се синтетише из азота и водоника под високом температуром и притиском, након чега следи вишестепена дестилација, адсорпција и процеси пречишћавања. Као критичан процесни гас у производњи полупроводника, сложених полупроводника и напредних дисплеја, његова ултра-висока чистоћа је од суштинског значаја за обезбеђивање квалитета танког-филма, перформанси уређаја и производног приноса. Чак и нечистоће у траговима-као што су влага, кисеоник, угљоводоници и јони метала-могу да доведу до кварова на уређају, чинећи 7Н амонијак незаменљивим материјалом за језгро у врхунској-производњи.
Основне информације
| ЦАС бр. | 7664-41-7 |
| УН бр. | УН1005 (амонијак, безводни, компримовани гас) |
| Класификација опасности | Класа 2.3 Токсичан гас, Корозивна супстанца класе 8 |
Кључни атрибути и параметри
| Чистоћа | Веће или једнако 99,99999% (7Н разред) |
| Кључни нивои нечистоће (типичне вредности, у ппб) |
Влага (Х₂О): Мања или једнака 10 ппб Кисеоник (О₂): Мање или једнако 5 ппб Укупни угљоводоници (ТХЦ): Мање или једнако 5 ппб Метални јони (Фе, Ни, Цу, На, К, итд.): Мање или једнако 0,01 ппб |
| Паковање | Цилиндри, И{0}}цилиндри, ИСО приколице за цеви (прилагодљиве на основу потреба купаца) |
| Притисак пуњења | Обично 20-50 бара (у зависности од контејнера) |
Карактеристике и предности
Ултра{0}}висока чистоћа и конзистентност
Користи више-технологију пречишћавања и онлајн анализу како би осигурао да свака серија 7Н амонијака испуњава најстроже захтеве процеса полупроводника са доследним нивоом чистоће и нечистоћа.
Екстремно ниска контаминација честицама и металима
Терминална филтрација до 0,003 μм обезбеђује минималан садржај честица и металних јона, спречавајући контаминацију осетљивих структура чипова.
Стабилан ланац снабдевања и потпуна следљивост
Имплементира затворену{0}}контролу од извора гаса, пречишћавања и пуњења до аналитичког тестирања, обезбеђујући потпуне и следљиве извештаје о инспекцији квалитета (ЦоА) како би се осигурала сигурност ланца снабдевања.
Професионална техничка и безбедносна подршка
Нуди свеобухватна решења укључујући упутства за коришћење гаса, пројектовање цевовода и обуку о безбедности како би се осигурало да клијенти могу безбедно и ефикасно да користе 7Н гас амонијака високе{1}} чистоће.
Функционалне карактеристике
Као извор азота
У епитаксијалним процесима као што је метал-органско хемијско таложење паре (МОЦВД), 7Н амонијак високе-гасне чистоће служи као кључни претходник азота за узгој ИИИ{3}}В сложених полупроводника као што су галијум нитрид (ГаН) и алуминијум нитрид (АлН).
Као реактивни гас
Код полупроводничког јеткања и таложења танког-филма силицијум нитрида (Си₃Н₄), његове високе-карактеристике чистоће обезбеђују униформност филма, ниску густину дефеката и одлична електрична својства.
Као носач или допинг гас
У специфичним процесима, може се користити за испоруку или допинг, где његова чистоћа директно утиче на гранични напон уређаја, мобилност и поузданост.
Примарна поља примене
Производња полупроводника
Користи се за таложење силицијум нитрида/титанијум нитрида и епитаксијални раст једињења ИИИ-В полупроводника (нпр. ГаН, ГаАс).
Дисплаи Тецхнологи
Служи као-извор азота високе чистоће у инкапсулацији танких-филмова и производњи ТФТ задње плоче за ОЛЕД и Мицро{2}}ЛЕД екране.
Фотонапонски
Користи се у пасивизирању слојева за високо{0}}ефикасне соларне ћелије (нпр. ХЈТ, ТОПЦон).
Истраживање и напредни материјали
Развој нових нитридних материјала, синтеза квантних тачака и припрема нитрида високе{0}}чистоће.
Случај корисничке сарадње
Успоставили смо-дугорочно стратешко партнерство са светским-водећим светским произвођачем полупроводника треће-генерације. За своју линију за масовну производњу ГаН-он-Си енергетских уређаја, купац је захтевао скоро-граничне спецификације за влагу и металне нечистоће у 7Н амонијачном гасу високе- чистоће (влага мања или једнака 5 ппб, јони метала мањи или једнаки 0,005 ппб). За њих смо прилагодили наменски модул за пречишћавање и систем за надгледање на мрежи и применили непрекинуто снабдевање-бесплатним-тачком-употребе од контаминације преко наменског цевовода. Током сарадње, испоручени гас амонијака високе-високе чистоће 7Н помогао је купцу да смањи густину дефекта епитаксијалне плочице за 30%, значајно побољшавши принос и поузданост уређаја, чиме је учврстио своју водећу позицију на тржишту високонапонских енергетских полупроводника. Овај случај илуструје нашу снажну способност у обезбеђивању интегрисаних гасних решења ултра{21}}високе{22} чистоће.
ФАК
Popularne oznake: 7н амонијак, Кина 7н амонијак произвођачи, добављачи, фабрика